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Uma parte das partículas evaporadas da máquina de revestimento a vácuo colide com o substrato e é invertida

Uma parte das partículas evaporadas da máquina de revestimento a vácuo colide com o substrato e é invertida

 

Depois que as partículas evaporadas colidem com o substrato, uma parte é invertida e a outra parte é adsorvida. A difusão superficial de adatoms ocorre na superfície do substrato, e colisões bidimensionais ocorrem entre os átomos depositados para formar aglomerados, alguns dos quais permanecem na superfície por um período de tempo e depois evaporam. Aglomerados de átomos colidem com átomos em difusão, ou adsorvem ou liberam átomos individuais, e esse processo é repetido. Quando o número de átomos excede uma certa criticidade, torna-se um núcleo estável e, em seguida, adsorve continuamente outros átomos compostos para crescer gradualmente e, finalmente, funde-se com o núcleo estável adjacente e, em seguida, torna-se um filme contínuo.

O processo de evaporação da máquina de revestimento a vácuo consome continuamente a energia interna do material de revestimento

 

Para escapar da superfície dos átomos ou moléculas do material de revestimento na fase líquida ou sólida da termodinâmica de evaporação, eles devem obter energia térmica suficiente e ter um movimento térmico grande o suficiente. Quando a energia cinética da componente de velocidade de sua superfície vertical é suficiente para superar a energia de atração mútua entre átomos ou moléculas, é possível escapar da superfície e completar a evaporação ou sublimação. Quanto maior a temperatura de aquecimento, maior a energia cinética das moléculas e maior a quantidade de partículas que evaporam ou sublimam. O processo de evaporação consome continuamente a energia interna do material de revestimento. Para manter a evaporação, a energia térmica do material de revestimento deve ser fornecida continuamente. Obviamente, durante o processo de evaporação, a quantidade de vaporização do material de revestimento (expressa como a pressão de vapor acima do material de revestimento) está intimamente relacionada ao aquecimento (aumento de temperatura) do material de revestimento. Portanto, a taxa de crescimento da camada de revestimento está intimamente relacionada à taxa de evaporação do material de revestimento.

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