Método de reação ativa da máquina de revestimento a vácuo

Método de reação ativa da máquina de revestimento a vácuo

 

Feixe de elétrons Eletrônico secundário dc: 200v Gás reativo o2, n2, ch4, c2h4, etc. A combinação de metal e gás reativo pode preparar uma variedade de camadas de filme de vazamento Eletrônico, decorativo, resistente ao desgaste e outras peças de revestimento

Método de Feixe de Íon Focado por Revestimento a Vácuo

 

Resistência Feixe de íons condensado DC: 0v-5kv Gás inerte Devido ao agrupamento de íons, a força de ligação da camada de filme é forte Componentes eletrônicos

Método multi-cátodo do revestidor a vácuo

 

Resistência, feixe de elétrons, DC termiônico: 0v-5kv, gás inerte ou gás reativo, bom efeito de ionização de elétrons de baixa velocidade, decorativo, eletrônico, maquinário de precisão e outras peças

Método de evaporação de campo elétrico da máquina de revestimento a vácuo

 

Feixe de elétrons Eletrônico secundário CC: 1kv-5kv Vácuo Gás menos impuro, pode formar um filme melhor Componentes eletrônicos

Método de excitação de modulação de frequência da máquina de revestimento a vácuo

 

Resistência, feixe de elétrons Campo elétrico de RF 13,56mhzdc: 0.1kv-5kv Gás inerte ou gás reativo Alta taxa de ionização, forte força de ligação do filme, baixa elevação de temperatura das partes revestidas, mas baixa dispersão Óptico, semicondutor e outras peças banhadas

Máquina de Revestimento a Vácuo Método Catodo Oco

 

Catodo oco Plasma feixe de elétrons CC: 0v-200v Gás inerte ou gás reativo Alta taxa de ionização, alta taxa de evaporação, fácil de obter camada de filme de alta pureza Peças decorativas, resistentes ao desgaste e outras de revestimento

Método de descarga de arco da máquina de revestimento a vácuo

 

Feixe de elétrons, filamento Descarga de arco CC: 100v Alto vácuo 1,33x10-4pa Alta taxa de ionização, fácil de formar um filme de reação, pode formar um filme sob alto vácuo, o que é propício para melhorar a qualidade das ferramentas de corte, metal decoração e outras peças chapeadas

 

Método de descarga DC da máquina de revestimento a vácuo

 

Descarga incandescente de resistência dc: {{0}}.1kv ~ 5kv gás inerte 1pa, 0,25ma/cm2 Estrutura simples, forte adesão do filme, mas a temperatura das partes revestidas sobe e a dispersão é ruim! Peças resistentes ao calor, lubrificadas e outras partes revestidas

Tipos e características de revestimento iônico da máquina de revestimento a vácuo

 

O revestimento iônico é uma tecnologia de deposição desenvolvida pela combinação de duas tecnologias de evaporação a vácuo e pulverização catódica. Sob condições de vácuo, o material de revestimento é evaporado por um método apropriado, e o gás de trabalho e o material evaporado são parcialmente ionizados pela descarga de gás. Sob o bombardeio dos íons do gás e dos íons do material evaporado, o material de evaporação ou seu produto de reação é depositado no substrato em uma membrana. O processo básico de revestimento iônico inclui evaporação, ionização, aceleração iônica e bombardeio iônico do material de revestimento para formar um filme na superfície da peça de trabalho. De acordo com os diferentes métodos de evaporação e métodos de ionização de gás de materiais de revestimento, são formados diferentes tipos de revestimento iônico. A tabela a seguir mostra vários revestimentos de íons principais. O revestimento de íons tem as vantagens de boa adesão entre o revestimento e o substrato, bom desempenho de difração, ampla gama de materiais revestidos e taxa de deposição rápida.

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