Uma abordagem inovadora para revestimento iônico em revestidores a vácuo

Uma abordagem inovadora para revestimento iônico em revestidores a vácuo

O método inovador de revestimento iônico multi-arco do equipamento de revestimento a vácuo, o chamado revestimento iônico multi-arco, consiste em colocar o material a ser revestido e o substrato a ser revestido na sala. E voar sputtering para a superfície do substrato chapeado para condensar e formar um filme.

O método de revestimento iônico multi-arco tem muitas vantagens na formação de filmes sob condições, que podem reduzir a colisão entre átomos e moléculas do material de evaporação no processo de voar para o substrato e reduzir a reação química entre as moléculas ativas no gás e o material da fonte de evaporação (como oxidação, etc.) o substrato.

O processo de detecção de vazamento a vácuo da máquina de revestimento a vácuo

Primeiro, é necessário confirmar se o vazamento é um vazamento virtual ou um vazamento real, pois o material da peça irá gerar gás em graus variados após o aquecimento, o que pode ser confundido com o gás que flui de fora, que é um vazamento virtual , e esta situação deve ser descartada. .

Em segundo lugar, teste a estanqueidade do gás da câmara de vácuo para garantir que a estanqueidade do gás atenda aos requisitos.

Em terceiro lugar, verifique o tamanho, forma, localização e velocidade do vazamento, prepare uma solução e implemente-a.

Em quarto lugar, determine a taxa mínima de vazamento detectável e a sensibilidade de detecção de vazamento do instrumento de detecção, detecte vazamento de ar na maior faixa, evite que alguns vazamentos sejam ignorados e melhore a precisão da detecção de vazamento.

Quinto, compreenda o tempo de resposta e o tempo de eliminação do instrumento de detecção de vazamentos, domine bem o tempo e garanta que o instrumento de detecção de vazamentos funcione no local. Se o tempo for curto, o efeito de detecção de vazamento será definitivamente ruim. Se o tempo for longo, os custos de gás de detecção de vazamento e eletricidade de trabalho serão desperdiçados.

Sexto, também é necessário evitar o bloqueio do orifício de vazamento. Às vezes, devido a erros operacionais, algumas poeiras ou líquidos bloqueiam o orifício de vazamento durante o processo de detecção de vazamento, pensando que não há orifício de vazamento nesta posição, mas quando esses bloqueios são devido à diferença de pressões interna e externa. Por outras razões, o vazamento não está bloqueado e o vazamento ainda existe.

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