Conceito de uniformidade do filme de tubo de aquecimento elétrico:

Conceito de uniformidade do filme de tubo de aquecimento elétrico:

O processo de deposição a vácuo é muito complicado. Devido aos diferentes princípios de revestimento, pode ser dividido em vários tipos. Tem um nome unificado justamente porque precisa de alto vácuo. Portanto, para deposição a vácuo com princípios diferentes, os fatores que afetam a uniformidade também são diferentes. E o próprio conceito de uniformidade também tem significados diferentes, dependendo da escala do revestimento e da composição do filme.

1. A uniformidade na espessura também pode ser entendida como rugosidade. Do ponto de vista da escala de filme óptico (ou seja, 1/10 de comprimento de onda como uma unidade, cerca de 100A), a uniformidade da deposição a vácuo é muito boa e a rugosidade pode ser facilmente controlada dentro de 1/10 do comprimento de onda da luz visível, o que significa que não há obstáculo à deposição a vácuo para as características ópticas do filme. Porém, se se refere à uniformidade na escala da camada atômica, ou seja, atingir 10A ou mesmo 1A de planicidade da superfície, é o principal conteúdo técnico e gargalo técnico na deposição a vácuo. Os fatores de controle específicos serão explicados em detalhes de acordo com diferentes revestimentos.

2. Uniformidade da composição química: ou seja, no filme, a composição atômica do composto produzirá facilmente características não uniformes devido ao pequeno tamanho. Se o processo de revestimento do filme de SiTiO3 não for científico, então a composição real da superfície não é SiTiO3, mas pode haver outros exemplos. O filme revestido não é a composição química do filme desejado, que é onde reside o conteúdo técnico da deposição a vácuo.

3. Uniformidade da ordem da rede: Isso determina que o filme é monocristal, policristalino e amorfo, o que é um problema importante na tecnologia de deposição a vácuo. Veja abaixo os detalhes.

Existem duas categorias principais: revestimentos de deposição evaporativa e revestimentos de deposição catódica, incluindo muitos tipos, incluindo evaporação de íons a vácuo, pulverização catódica, epitaxia de feixe molecular MBE, método sol gel, etc.

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