Contramedidas para melhorar a instabilidade do sinal de equipamentos de galvanoplastia a vácuo:

Contramedidas para melhorar a instabilidade do sinal de equipamentos de galvanoplastia a vácuo:

 

1. Projete o sistema de filme:

 

●O índice de refração do material do filme selecionado no projeto do sistema de filme deve ser consistente com a máquina usada para o material do filme;

 

A espessura e a tolerância do índice de refração devem ser consideradas tanto quanto possível no projeto do sistema de filme (a espessura e a tolerância do índice de refração de cada camada são 1 por cento -2 por cento), especialmente a camada sensível, deve haver uma certa tolerância (1 por cento)

 

●O valor de "ferramenta" da espessura de controle e a espessura real do teste devem ser precisos e o ajuste deve ser confirmado com frequência.

 

●Os requisitos técnicos do projeto devem ser superiores aos requisitos técnicos dos desenhos.

 

● Considerar a influência da variação do índice de refração da camada de variação do substrato no projeto.

 

●Considere a mudança do índice de refração dos materiais do filme e a correspondência entre os materiais do filme e entre os materiais do filme e os substratos durante o projeto.

 

2. Os fabricantes e modelos de materiais de membrana, chips e materiais de nitrato usados ​​no local de trabalho não devem ser alterados com frequência uma vez confirmados, e aqueles que devem ser alterados devem ser confirmados várias vezes.

 

3. Para prevenir e evitar a ocorrência de erros no dever de casa,

 

Quarto, fortaleça o monitoramento do teste espectroscópico de cada lente, defina a curva espectroscópica de advertência e ajuste o sistema de filme a tempo.

 

5. O gerenciamento das peças de teste e comparação é reforçado para garantir que a superfície das peças de teste e comparação revestidas com a tampa esteja livre de contaminação, fresca e que a aparência atenda aos requisitos especificados. Antes do uso, faça um teste na peça de comparação para medir sua refletância (apenas um ponto de comprimento de onda pode ser medido) e compare o valor medido com o valor teórico. Geralmente, o valor medido é menor que o valor teórico (efeito da camada de corrosão). Se a diferença entre os dois valores for relativamente grande Se for muito grande (por exemplo, mais de 1 por cento), deve-se considerar a renovação ou substituição da peça de comparação.

 

6. O teste espectroscópico da lente deve ser realizado após o substrato estar completamente resfriado.

 

7. Domine a lei de mudança da sensibilidade do chip de controle de cristal e corrija os dados de controle a tempo. A sensibilidade do chip de controle de cristal não é exatamente a mesma quando é novo e depois de usar várias tampas, e o valor da impedância acústica do chip mudará ligeiramente. Alguns controladores de cristal (como IC5) podem ser configurados para correção automática, mas a maioria dos controladores de cristal não tem a função de corrigir automaticamente o valor da impedância acústica. Tendo dominado a lei da sensibilidade do wafer, ela pode ser corrigida na configuração da espessura do filme.

 

8. Melhore o efeito de resfriamento da sonda controlada por cristal. Quando a temperatura do wafer é superior a 50 graus, o erro de medição é grande.

 

9. O uso da tecnologia de revestimento assistida por íons pode melhorar a estabilidade das características espectroscópicas do filme.

 

10. Revise a aplicabilidade do controle de luz do sistema de filme na máquina.

 

11. Revisão da influência humana no controle da luz

 

12. Sempre verifique o caminho óptico, sinal, peça de teste, etc. do controle de luz.

 

13. Projete o sistema de filme adequado para controle de luz.

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