Propriedades eletromagnéticas e aprimoramento de filmes finos ópticos para deposição assistida por feixe de íons de prata a vácuo

Propriedades eletromagnéticas e aprimoramento de filmes finos ópticos para deposição assistida por feixe de íons de prata a vácuo

A deposição assistida por feixe de íons pode alterar as propriedades eletromagnéticas dos filmes e melhorar o desempenho dos filmes finos ópticos.

Como a deposição assistida por íons pode ajustar de forma precisa e independente os parâmetros relevantes de deposição atômica e implantação de íons, e pode gerar continuamente revestimentos de vários mícrons com composição consistente em baixas energias de bombardeio, vários revestimentos podem ser cultivados em temperatura ambiente. Filme de sementes para evitar efeitos adversos em materiais ou peças de precisão quando processados ​​em altas temperaturas.

Resistência à corrosão e resistência à oxidação da deposição assistida por feixe de íons de prata a vácuo

A deposição assistida por feixe de íons aumenta a resistência à corrosão e oxidação dos filmes. Devido à densa camada de filme depositada por deposição assistida por feixe de íons, a melhoria da estrutura de interface da base do filme ou o desaparecimento dos limites de grão entre as partículas devido à formação de um estado amorfo é benéfica: forte resistência à corrosão do material e resistência à oxidação em alta temperatura.

A deposição assistida por feixe de íons de revestimento de prata a vácuo altera as propriedades de tensão dos filmes

A deposição assistida por feixe de íons pode alterar as propriedades de tensão do filme e mudanças em sua estrutura cristalina. Por exemplo, quando o filme de Cr foi preparado com 11,5 keV Xe plus ou Ar plus bombardeando a superfície do substrato, descobriu-se que o ajuste de parâmetros como a temperatura do substrato, a energia dos íons de bombardeio e a taxa de chegada de íons aos átomos poderia mudar a tensão de tensão de tração para tensão de compressão. Também há mudanças na estrutura cristalina do filme. Por exemplo, a uma certa razão de chegada de ião para átomo, a deposição assistida por feixe de iões tem uma orientação melhor preferida do que os filmes depositados por evaporação térmica.

Propriedades mecânicas melhoradas de filmes por deposição assistida por feixe de íons de prata a vácuo

A deposição assistida por feixe de íons pode melhorar as propriedades mecânicas do filme, prolongar a vida em fadiga e é muito adequada para a preparação de óxidos, carbonetos, BN cúbico, TiB e revestimentos semelhantes a diamante. Por exemplo, quando o filme SiN de 200 nm é cultivado em aço resistente ao calor 1Cr18Ni9Ti por tecnologia de deposição assistida por feixe de íons, ele pode não apenas inibir o início de rachaduras por fadiga na superfície do material, mas também reduzir significativamente a taxa de difusão de rachaduras por fadiga, o que tem um bom efeito em prolongar sua vida.

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