Fonte de íons oscilantes de elétrons para revestimento de prata a vácuo

Fonte de íons oscilantes de elétrons para revestimento de prata a vácuo

Para fontes simples de colisão de elétrons com feixes de elétrons paralelos, a eficiência de ionização é afetada principalmente pelo comprimento médio das trajetórias de elétrons dentro da região de ionização. A fonte de íons do tipo oscilação de elétrons tem o mesmo potencial para cátodo e cátodo, e os elétrons emitidos do cátodo oscilarão para frente e para trás entre o cátodo e o cátodo oposto, o que aumenta o comprimento da trajetória do elétron e melhora a eficiência de ionização da fonte de íons.

Devido ao aumento do comprimento efetivo da trajetória dos elétrons, sua eficiência de ionização é melhorada, e esse tipo de fonte de íons geralmente funciona sob um grande fluxo de elétrons de emissão de cerca de 5mA, de modo que a carga espacial do elétron desempenhará um papel correspondente, reduzindo o íon fonte. O potencial no eixo faz com que os íons se concentrem no eixo da fonte, o que é mais favorável para a extração de íons. Portanto, a sensibilidade deste tipo de fonte de íons é uma ordem de grandeza maior do que a da fonte de íons Nier comum.

Fonte de colisão de elétrons tradicional de chapeamento de prata a vácuo

Uma fonte tradicional de íons de impacto de elétrons projetada por Nier é composta por uma câmara de ionização, um canhão de elétrons e um sistema óptico de íons. Geralmente, para simplificar sua estrutura, a tradicional fonte de íons elétrons utilizada no analisador de vácuo de média e baixa resolução geralmente não utiliza campo magnético externo. O fio de tungstênio é comumente usado como material catódico, portanto, há desvantagens como alta temperatura de trabalho, propriedades mecânicas frágeis do material após trabalhar em alta temperatura e baixa estabilidade de emissão.

Mais tarde, uma fonte de íons de alto rendimento para espectrômetros de massa quadrupolo foi usada como uma melhoria. Esta fonte de íons melhorada possui uma região de ionização maior, e nesta região de ionização maior, existe um campo elétrico de extração moderadamente forte, que também atua na concentração de íons, portanto seu rendimento iônico é maior.

Além disso, a câmara de ionização deste tipo de fonte de íons é composta por muitos eletrodos de anéis anulares em forma de folha, de modo que a alteração de desempenho causada pela contaminação da superfície do eletrodo é reduzida. A dispersão da energia iônica deste tipo de fonte de íons é inferior a 0,5 por cento da tensão de extração de íons, portanto, tem apenas um pequeno efeito no poder de resolução do instrumento.

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