Como as placas de aquecimento são certificadas para atender aos padrões SEMI para equipamentos de fabricação de semicondutores?

A fabricação de semicondutores requer grande limpeza e pureza de materiais. As placas de aquecimento utilizadas em equipamentos de processamento de wafer devem atender a critérios SEMI muito rigorosos, que vão muito além da segurança elétrica básica e incluem a liberação de gases, a produção de partículas e a compatibilidade de materiais.

O que são padrões SEMI
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) é uma associação comercial internacional que cria padrões para garantir a qualidade, segurança e compatibilidade ambiental de equipamentos de produção de semicondutores. Esses critérios são essenciais para a limpeza e o desempenho necessários na fabricação de semicondutores. Os padrões SEMI abrangem um amplo espectro de tópicos, incluindo segurança de equipamentos (S2), compatibilidade ambiental (S8) e requisitos específicos-de materiais. Quando se trata de placas de aquecimento, a conformidade SEMI significa que elas atendem aos padrões de alta pureza exigidos para a produção de semicondutores.

Chave de padrões SEMI para placas aquecedoras
SEMI S2 - Segurança de equipamentos
SEMI S2 estabelece regras gerais de segurança para equipamentos semicondutores para garantir que as placas de aquecimento sejam seguras para uso em um ambiente de fabricação. . A conformidade com SEMI S2 é validada por uma avaliação-de terceiros feita por um avaliador certificado SEMI S2. A norma cobre segurança elétrica, integridade mecânica e operação geral do equipamento.

SEMI S3 - Diretrizes de segurança para banhos químicos aquecidos
SEMI S3 refere-se à segurança de equipamentos em banhos químicos aquecidos. Esta norma garante que as placas de aquecimento, empregadas em sistemas de processamento químico, não apresentam riscos de segurança ou ineficiências operacionais. Também inclui materiais e estrutura para evitar contaminação pela solução química quente.

Especificação SEMI F57 - para materiais poliméricos em água ultrapura e sistemas químicos líquidos
SEMI F57 define os padrões para materiais poliméricos, incluindo revestimentos em placas de aquecimento, em contato com água ultrapura e produtos químicos líquidos. Este padrão garante que os materiais usados ​​em equipamentos de produção de semicondutores sejam compatíveis com fluidos ultra-puros e não afetem a pureza do processo.

Padrões de certificação para placas de aquecimento
As placas de aquecimento em equipamentos semicondutores devem ser rigorosamente testadas de acordo com os padrões SEMI. Esses testes estão relacionados às qualidades do material, resistência a contaminantes e compatibilidade química:

Desgaseificação (ASTM E 595)
A liberação de gases é a emissão de produtos químicos voláteis dos materiais da placa de aquecimento durante o aquecimento. Na fabricação de semicondutores, a contaminação no ambiente de sala limpa pode levar a falhas em dispositivos semicondutores, mesmo em níveis minúsculos de liberação de gases. As placas de aquecimento feitas de materiais como revestimentos de PTFE e PFA devem ser testadas quanto à liberação de gases de acordo com os requisitos ASTM E595 para garantir que não liberem compostos perigosos durante a operação.

Queda de partículas-
As placas de aquecimento devem ser construídas para minimizar a criação de partículas que possam contaminar o wafer ou as operações químicas. Qualquer material que possa entrar em contato com fluidos de processo deve ser examinado para garantir que não libere partículas em níveis que interfiram nos delicados processos de fabricação em fábricas de semicondutores.

Resistência a produtos químicos de processo
As placas de aquecimento na fabricação de semicondutores são frequentemente submetidas a substâncias hostis, como ácidos, solventes e água ultrapura. Esses materiais precisam ser resistentes à corrosão e à degradação sob as circunstâncias únicas do processo de produção de semicondutores. Os revestimentos PTFE e PFA são amplamente utilizados em placas de aquecimento devido à sua resistência química superior, garantindo que a integridade da superfície de aquecimento seja mantida sem a introdução de quaisquer contaminantes.

Normas SEMI para placas e mandris aquecidos Normas SEMI importantes SEMI S2 - Segurança de equipamentos (requisitos gerais de segurança)

Diretrizes de segurança SEMI S{0}} para aquecedores de banho químico

Especificação SEMI F57 - para materiais poliméricos em água ultrapura e sistemas químicos líquidos

Método de teste de desgaseificação ASTM E595

SEMI F47 – Práticas Recomendadas para Equipamentos de Fabricação de Semicondutores

Conclusão
SEMI é um padrão que determina que as placas de aquecimento usadas em equipamentos semicondutores devem atender aos padrões de pureza e segurança da indústria de semicondutores. As placas de aquecimento são certificadas como livres de contaminação metálica, minimizam a liberação de partículas e atendem aos regulamentos de liberação de gases para proteger o processo de produção de semicondutores. Os sectores de nicho estão a desenvolver as suas próprias normas específicas para satisfazer as suas necessidades técnicas específicas. A conformidade com esses padrões garante que o equipamento atenda aos rigorosos e{3}}requisitos de alto desempenho da indústria de semicondutores.