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Principais vantagens do processo de pulverização catódica de magnetron de prateação a vácuo

Principais vantagens do processo de pulverização catódica de magnetron de prateação a vácuo

 

A principal vantagem do processo de pulverização catódica magnética é que os processos de revestimento reativos ou não reativos podem ser usados ​​para depositar camadas desses materiais com bom controle sobre a composição da camada, espessura do filme, uniformidade da espessura do filme e propriedades mecânicas do filme, etc.

A máquina de revestimento anti-impressão digital de revestimento de prata a vácuo é usada em

 

A máquina de revestimento anti-impressão digital adota a tecnologia de formação de filme por pulverização catódica, que não só resolve os problemas de desempenho de adesão do filme, dureza, resistência à sujeira, resistência ao atrito, resistência a solventes, resistência ao envelhecimento, resistência a bolhas e água fervente, mas também pode AR Film e Os filmes AF são produzidos no mesmo forno, especialmente adequados para produção em larga escala de decoração colorida de superfície de metal e vidro, filme AR e filme AF/AS. O equipamento possui grande capacidade de carga, alta eficiência, processo simples, operação conveniente e boa consistência de filme. Além do desempenho superior do filme, também possui um processo ecológico.

 

O equipamento tem sido amplamente utilizado nos campos de tratamento de superfície de cobertura de vidro de celular, lente de celular, filme à prova de explosão, etc. O revestimento AR plus AF torna esses produtos mais resistentes à sujeira, mais fáceis de limpar na superfície e tem um Vida longa.

Explicação física do envenenamento de alvos prateados a vácuo

 

 

(1) Em geral, o coeficiente de emissão de elétrons secundários dos compostos metálicos é maior que o dos metais. Depois que o alvo é envenenado, a superfície do alvo é coberta com compostos metálicos. Após ser bombardeado por íons, o número de elétrons secundários liberados aumenta, o que melhora a eficiência do espaço. A capacidade de ativação reduz a impedância do plasma, resultando em uma tensão de pulverização mais baixa. Assim, a taxa de pulverização é reduzida. Em geral, a tensão de pulverização catódica do magnetron está entre 400V e 600V. Quando ocorre o envenenamento do alvo, a voltagem de pulverização será significativamente reduzida.

 

(2) A taxa de pulverização catódica do alvo de metal e do alvo composto é diferente. Geralmente, o coeficiente de pulverização catódica do metal é maior que o do composto, então a taxa de pulverização catódica é baixa depois que o alvo é envenenado.

 

(3) A eficiência de pulverização catódica do gás de pulverização catódica reativa é inerentemente menor do que a do gás inerte, portanto, quando a proporção de gás reativo aumenta, a taxa geral de pulverização catódica diminui.

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