Design modular da máquina de revestimento a vácuo, fácil manutenção
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Design modular da máquina de revestimento a vácuo, fácil manutenção
1. Existem estruturas horizontais e verticais, que podem realizar o revestimento simultâneo de um lado;
2. Eficiência de produção, a velocidade mais rápida é de 1 minuto/batida;
3. Design modular, fácil manutenção;
4. O processo de revestimento é maduro e o rendimento é alto;
5. O cátodo de pulverização catódica DC pode ser selecionado de acordo com os requisitos do cliente;
6. O sistema de vácuo consiste em bomba mecânica, bomba de raízes e bomba de difusão;
A máquina de revestimento a vácuo garante que o fornecimento de água de resfriamento do equipamento seja desobstruído
Antes da bomba de difusão e da bomba de reforço de óleo serem aquecidas, a água de resfriamento deve ser conectada e a bomba de manutenção deve ser ligada. A bomba de difusão e a bomba de reforço param de funcionar, mantenha a bomba por meia hora antes de desligar e corte a água após 1 hora, mas quando o interior da bomba não for resfriado abaixo de 80 graus, não corte a água de resfriamento para evitar que o núcleo da bomba queime.
A bomba de difusão e a bomba de reforço têm, cada uma, uma saída de água de reserva. Se a máquina de revestimento falhar ou faltar energia, a saída de backup deve ser aberta para permitir o resfriamento da bomba de difusão e da bomba de reforço. Materiais queimados. Quando a bomba de difusão e a bomba de reforço de óleo são aquecidas, não entre em contato com a atmosfera para evitar a oxidação do óleo da bomba. Verifique e ajuste regularmente o relé de fluxo de água, verifique se o alarme de corte de água está normal e certifique-se de que o fornecimento de água de resfriamento do equipamento seja regular. Antes de desmontar e montar cada máquina da máquina de revestimento Ao instalar as peças, deve-se tomar cuidado para proteger as superfícies de vedação de arranhões mecânicos ou danos para garantir um desempenho de vedação confiável da máquina de revestimento.
A máquina de revestimento a vácuo pode optar por usar bomba de dois estágios ou bomba de vários estágios
O equipamento de revestimento a vácuo tem cada vez mais requisitos para o limite do grau de vácuo e força de pressão de trabalho, e quanto maiores os requisitos para a capacidade de bombeamento de vácuo da bomba de vácuo, pelo menos o grau de vácuo final da bomba é maior do que o vácuo de trabalho grau do equipamento de vácuo. Mais de meia ordem de grandeza. Cada bomba tem uma determinada faixa de pressão de trabalho. Por exemplo, a pressão da bomba de difusão é 3~10-7mmHg, e sua faixa de pressão de trabalho estável é 5*10-4~5*10-6mmHg. Trabalhe fora da faixa de pressão operacional não especificada. Quando a pressão do gás exigida pela bomba não for alta ou o grau de vácuo necessário não for alto, a bomba de estágio único pode ser selecionada primeiro. Os requisitos para pressão de exaustão ou grau de vácuo são relativamente altos e a bomba de estágio único geralmente não pode atender aos requisitos. , você pode optar por usar uma bomba de dois estágios ou uma bomba de vários estágios.
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