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Pureza da deposição de película fina de tubos de aquecimento elétrico de galvanoplastia a vácuo

Pureza da deposição de película fina de tubos de aquecimento elétrico de galvanoplastia a vácuo

 

a pureza da fonte de evaporação;

 

Possível contaminação por aparelhos de aquecimento e cadinhos;

 

Gases residuais no sistema de vácuo.

Fatores de influência da evaporação a vácuo de tubos de aquecimento elétrico de galvanização a vácuo

 

a taxa de evaporação da substância

 

pressão de vapor do elemento

 

Uniformidade da deposição de filmes finos

 

Pureza da deposição de filme fino

Classificação de fontes de evaporação para tubos de aquecimento elétrico de galvanoplastia a vácuo

 

Evaporação por aquecimento resistivo

 

Evaporação de aquecimento por feixe E

 

Evaporação de aquecimento de arco

 

evaporação de aquecimento a laser

O processo de deposição por evaporação a vácuo do tubo de aquecimento elétrico de galvanoplastia a vácuo consiste em três etapas:

 

O material da fonte de evaporação é transformado da fase condensada para a fase gasosa;

 

Transporte de partículas evaporadas entre a fonte de evaporação e o substrato;

 

Depois que as partículas evaporadas atingem o substrato, elas condensam, nucleam, crescem e formam um filme.

Feixe de íon e Ion Assist para tubo de aquecimento elétrico de galvanoplastia a vácuo

 

Os dois métodos mais básicos de deposição física de vapor são a evaporação e a pulverização catódica, bem como os métodos de feixe de íons e assistido por íons.

 

A evaporação tem algumas vantagens distintas sobre a pulverização catódica, incluindo taxas de deposição mais altas, níveis de vácuo relativamente mais altos e a resultante qualidade superior do filme.

 

O método de pulverização catódica também tem algumas vantagens próprias, incluindo fácil controle da composição química ao depositar filmes finos de ligas multicomponentes e melhor adesão da camada depositada ao substrato.

Os três estágios do processo de deposição de vapor físico de tubos de aquecimento elétrico de galvanoplastia a vácuo:

 

emitir partículas da matéria-prima;

 

transporte de partículas para o substrato;

 

As partículas condensam, nucleam, crescem e formam filmes no substrato.

Características do método de preparação do filme de tubo de aquecimento elétrico de galvanoplastia a vácuo

 

É desejável usar material sólido ou fundido como material de origem para o processo de deposição.

 

O material de origem passa por um processo físico na fase gasosa.

 

É necessário um ambiente de pressão de gás relativamente baixa.

 

Nenhuma reação química ocorre na fase gasosa e na superfície do substrato.

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