Limpeza de peças de grafite de forno de cristal único

Limpeza de peças de grafite de forno de cristal único

1) As peças de grafite devem ser limpas na sala de limpeza designada, e os materiais de limpeza (escova aspirador, papel toalha, tubo de vácuo, pano abrasivo, ferramentas exclusivas para remoção de partículas de silício, carrinho de limpeza para peças de grafite, etc.) devem ser preparados , e devem ser usadas luvas , Máscaras contra poeira. Limpe a mesa de limpeza e o ambiente circundante.

2) Limpe todos os tipos de peças de grafite com uma escova de aspiração sucessivamente até confirmar que não há sujeira. As partes que absorvem substâncias mais voláteis como ranhuras e interfaces devem ser cuidadosamente polidas com pano abrasivo e depois aspiradas e limpas.

3) Ao limpar, preste atenção para verificar se as peças de grafite estão danificadas e com silicone pegajoso. O silicone danificado e pegajoso deve ser substituído e descartado a tempo.

4) Manuseie com cuidado para evitar danos às peças de grafite durante a operação.

5) Coloque as peças de grafite limpas no carrinho de aço inoxidável limpo preparado com antecedência. Não sobreponha e mova o carrinho de aço inoxidável com firmeza.

6) Após a limpeza, coloque o lixo no local designado e limpe a mesa de limpeza e o ambiente ao redor.

Inspeção e substituição de óleo de bomba de vácuo de forno de cristal único

a. Certifique-se de fechar a válvula de esfera da bomba principal e da bomba de vácuo, pendurar o cartão de manutenção no forno de cristal único de drenagem de óleo, colocar o barril de óleo usado sob a porta de drenagem da bomba de vácuo, ligar o interruptor de drenagem de óleo do câmaras superior e inferior e feche as válvulas de drenagem de óleo das câmaras superior e inferior após drenar o óleo. , Despeje o óleo usado em tambores de óleo designados.

b. Limpe a bomba de vácuo (uma vez a cada 5 fornos), use uma chave inglesa para abrir a tampa lateral da bomba de vácuo, coloque-a em uma posição apropriada e use uma toalha para limpar completamente a cavidade da bomba de vácuo, a tampa lateral e o filtro de óleo no cavidade inferior. Após a limpeza, instale o filtro. , Instale a tampa lateral. Tenha cuidado ao abrir e instalar a tampa lateral para evitar danos à tampa lateral e ao retentor de óleo e vazamento de óleo. É proibido deixar restos de papel ou outros objetos estranhos na cavidade da bomba, caso contrário bloqueará o circuito de óleo e causará emperramento da bomba de vácuo. Os resíduos da limpeza da bomba de vácuo são colocados na lixeira designada.

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