O conceito básico de revestimento PVD do revestidor a vácuo

O conceito básico de revestimento PVD do revestidor a vácuo

PVD é a forma abreviada do inglês 'Physical Vapor Deposition', que significa deposição física de vapor. Agora geralmente nos referimos à evaporação a vácuo, revestimento por pulverização catódica, revestimento iônico, etc. como deposição física de vapor.

Os métodos PVD mais maduros são principalmente revestimento multi-arco e pulverização catódica de magnetron. O equipamento de revestimento multi-arco é simples em estrutura e fácil de operar. Sua fonte de evaporação de íons pode ser alimentada pela fonte de alimentação da máquina de solda elétrica e seu processo de ignição de arco é semelhante ao da soldagem elétrica. Especificamente, sob uma certa pressão do processo, a agulha de ignição do arco e a fonte de íons de evaporação são brevemente contatadas e desconectadas, de modo que o gás seja descarregado. Uma vez que a formação do revestimento multiarco se deve principalmente ao ponto de arco em movimento contínuo, uma poça fundida é formada continuamente na superfície da fonte de evaporação e, após a evaporação do metal, ele é depositado no substrato para obter um filme fino camada. Comparado com a pulverização catódica de magnetron, não só tem alta taxa de utilização do material alvo, mas também tem as vantagens de alta taxa de ionização de íons metálicos e forte força de ligação entre o filme e o substrato. Além disso, a cor do revestimento multi-arco é relativamente estável, especialmente ao fazer o revestimento TiN, cada lote pode facilmente obter o mesmo amarelo dourado estável, que está além do alcance da pulverização catódica. A desvantagem do revestimento multi-arco é que, sob a condição de revestimento de baixa temperatura com fonte de alimentação DC tradicional, quando a espessura do revestimento atinge 0,3μm, a taxa de deposição é próxima da refletividade e a formação do filme torna-se muito difícil. Além disso, a superfície do filme começa a ficar turva. Outra desvantagem do revestimento multiarco é que, como o metal é evaporado após a fusão, as partículas depositadas são maiores, a densidade é baixa e a resistência ao desgaste é pior do que a do método de pulverização catódica.

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