A máquina de revestimento a vácuo usa uma fonte de alimentação de alta frequência e um forte capacitor é adicionado ao loop.
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A máquina de revestimento a vácuo usa uma fonte de alimentação de alta frequência e um forte capacitor é adicionado ao loop.
Para resolver este problema, o sputtering reativo do magnetron foi inventado. Ou seja, usando um alvo de metal, adicionando argônio e um gás reativo como nitrogênio ou oxigênio. Quando o alvo de metal atinge a peça, ele se combina com o gás reativo para formar nitretos ou óxidos devido à conversão de energia.
É fácil pulverizar metais e ligas com fontes-alvo de magnetron, e a ignição e a pulverização catódica são convenientes. Isso ocorre porque o alvo (cátodo), o plasma e a câmara de vácuo da parte pulverizada podem formar um circuito. Mas se isoladores de pulverização catódica, como cerâmica, o circuito é interrompido. Então, as pessoas usam fonte de alimentação de alta frequência e adicionam um capacitor forte ao loop. Desta forma, o material alvo torna-se um capacitor no circuito isolante.
A fim de aumentar a taxa de utilização do material alvo, a máquina de revestimento a vácuo pode usar um campo magnético rotativo
A interação entre o campo magnético e os elétrons é usada para fazer os elétrons correrem em forma de espiral perto da superfície do alvo, aumentando assim a probabilidade dos elétrons atingirem o gás argônio para gerar íons. Os íons gerados atingem a superfície do alvo sob a ação de um campo elétrico para ejetar o alvo. No desenvolvimento das últimas décadas, ímãs permanentes foram gradualmente adotados e ímãs de bobina raramente são usados. Independentemente do equilíbrio ou desequilíbrio, se o ímã estiver estacionário, suas características de campo magnético determinam que a taxa de utilização alvo geral seja inferior a 30%. Para aumentar a taxa de utilização do material alvo, um campo magnético rotativo pode ser usado. Mas girar o campo magnético requer um mecanismo de rotação e, ao mesmo tempo, a taxa de pulverização é reduzida.
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