Teste de carga do forno de carrinho e verificação funcional

No processo de precisão da fabricação de semicondutores, os fornos são equipamentos essenciais e seu desempenho afeta diretamente a qualidade do chip e a eficiência da produção. Para garantir que os fornos semicondutores estejam sempre em condições de trabalho ideais, considere cuidadosamente as seguintes instruções de manutenção diária abrangentes.

1. Limpeza profunda para evitar riscos de contaminação

Limpeza interna: Após cada uso, aguarde o forno esfriar completamente e limpe o interior com um pano sem poeira e um limpador dedicado. A produção de semicondutores requer padrões de limpeza extremamente altos; portanto, preste atenção especial aos cantos e fendas ao limpar para impedir que as partículas acumulem e contaminem os chips. Para manchas teimosas, evite esfregar duras e, em vez disso, use um detergente suave para limpar repetidamente. Enxágue com água desionizada e seque bem após a limpeza.

Limpeza externa: limpe regularmente o exterior do forno com um pano limpo e úmido para remover poeira e manchas. Evite o uso de limpadores corrosivos para evitar danos ao revestimento externo e comprometer a estética e as propriedades de proteção do equipamento. Além disso, inspecione o ambiente do equipamento para garantir que não haja acúmulo de poeira e mantenha uma boa ventilação.

2. Inspeção e manutenção detalhadas dos principais componentes

Sistema de aquecimento: inspecione o elemento de aquecimento semanalmente quanto a sinais de oxidação e danos. Se você notar manchas ou rachaduras pretas na superfície do tubo de aquecimento, substitua -o imediatamente para evitar aquecimento desigual que poderá afetar a secagem do chip. Além disso, verifique os terminais do sistema de aquecimento quanto a conexões soltas para garantir conexões elétricas estáveis ​​e impedir que os funções ou riscos de segurança causados ​​por um contato ruim.

Fã e duto de ar: verifique regularmente a operação do ventilador, ouça qualquer ruídos incomuns e inspecione as pás do ventilador quanto a deformação ou acumulação de poeira. A acumulação de poeira pode afetar a eficiência da circulação do ar quente e levar a temperaturas desiguais dentro da câmara. Limpe cuidadosamente as lâminas e o interior do ventilador com ar comprimido. Além disso, verifique o duto de ar quanto ao fluxo desobstruído e remova todos os detritos para garantir uma circulação uniforme e eficiente do ar quente dentro da câmara.

Tiras de vedação: Os fornos semicondutores requerem vedação estrita. Verifique as tiras de vedação por porta diariamente para envelhecimento, deformação ou danos. Rachaduras ou perda de elasticidade podem levar a temperatura e umidade instáveis ​​dentro da câmara e podem até introduzir contaminantes. Substitua as tiras prontamente para garantir uma boa vedação.

Iii. Calibração precisa para garantir parâmetros estáveis

Calibração de temperatura e umidade: use um sensor de temperatura e umidade de alta precisão para calibrar a temperatura interna e a umidade interna do forno mensalmente. A produção de semicondutores requer precisão de temperatura e umidade extremamente alta, e até o menor desvio pode afetar o desempenho do chip. Durante a calibração, se os valores de temperatura e umidade exibidos se desviarem dos valores reais além da faixa permitida, os parâmetros de controle de temperatura e umidade do forno devem ser ajustados imediatamente e os dados de calibração devem ser registrados para análise e rastreabilidade subsequentes.

Inspeção do sistema de controle: Inspecione regularmente o sistema de controle do forno, incluindo componentes como o controlador de temperatura e o timer, para obter o funcionamento adequado. Teste a sensibilidade e a precisão de cada botão de controle e exibir para garantir que o operador possa definir com precisão e monitorar parâmetros operacionais do forno. Se alguma anormalidade for detectada, entre em contato com técnicos profissionais prontamente para reparar e depurar.

4. Descomissionamento padronizado e reiniciar manutenção

Desativação de longo prazo: Se um forno semicondutor precisar ser desativado por um período prolongado, limpe e seque minuciosamente o interior e desconecte a fonte de alimentação. Para impedir a entrada de poeira e umidade, cubra firmemente o forno com uma tampa de poeira. Periodicamente (é recomendado semanalmente) o alimenta por 1-2 horas para manter o desempenho estável dos componentes elétricos internos e prevenir mau funcionamento devido à inatividade a longo prazo.

Recomissionamento: Antes de recompensar um forno que foi desativado por um período prolongado, inspecione minuciosamente todos os componentes. Isso inclui a limpeza do interior novamente, verificando as conexões elétricas, testando o sistema de aquecimento e a operação do ventilador, etc. Execute a unidade sem carga por um período de tempo para observar se a temperatura e o controle de umidade são normais. Somente depois de confirmar que não há anormalidades, ele pode ser colocado em uso.