Sequência da máquina da máquina de revestimento a vácuo

Sequência da máquina da máquina de revestimento a vácuo

1. Desligue o medidor de alto vácuo e a bomba molecular.

2. Quando a exibição da bomba molecular atingir 50, desligue a válvula, o estágio frontal e a bomba mecânica em sequência. Este período levará cerca de 40 minutos.

3. Quando estiver abaixo de 50, desligue a bomba de manutenção novamente.

1. Fonte de alimentação geral.

2. Ligue a fonte de alimentação do controle do canhão de elétrons I e do controle do canhão de elétrons II ao mesmo tempo: pressione a fonte de alimentação do controle do canhão de elétrons I, o interruptor de atraso, as luzes de atraso, energia e proteção acenderão e o atraso e as luzes de proteção serão apagadas após três minutos, se a porta traseira não estiver fechada ou o relé de fluxo de água estiver Se houver uma falha, a luz de proteção estará sempre acesa.

3. Ligue a alta tensão, a alta tensão atingirá mais de 10KV, ajuste a corrente do feixe para cerca de 200mA, a grade da cortina é 20V/100mA, a corrente do filamento é 1,2A e a corrente de deflexão oscila entre 1~1,7.

Use as etapas da máquina de revestimento a vácuo

1. Ligue a bomba de água e a fonte de ar.

2. Ligue a alimentação principal.

3. Ligue a fonte de alimentação da bomba de manutenção e do medidor de vácuo, e a posição do medidor de vácuo é V1, aguarde o valor ser menor que 10 e, em seguida, vá para a próxima etapa. Demora cerca de 5 minutos.

4. Ligue a bomba mecânica, pré-bomba, ligue a energia da bomba turbo molecular e inicie-a. Mude o interruptor do medidor de vácuo para a posição V2 e levará cerca de 20 minutos até que a bomba seja menor que 2.

5. Após a leitura da bomba turbomolecular atingir 250, desligue o pré-bombeamento, abra a bomba dianteira e a válvula de alto vácuo e continue a evacuar. Após a evacuação atingir um determinado nível, o medidor de alto vácuo à direita pode ser aberto para observar o grau de vácuo. O canhão de elétrons não pode ser ligado até que o vácuo atinja 2×10-3.

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