Guia de operação e precauções da máquina de união de compressão de calor a vácuo e precauções
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A máquina de união a vácuo de prensa a quente é usada para selar chips orgânicos de plástico rígido, como PMMA, PC, COC, etc .; Para ligação média e baixa de alta temperatura de substratos, como vidro, bolachas de silício, bolachas, safira, quartzo, etc . A temperatura máxima da prensa quente a vácuo de laboratório é de 300 graus, o tamanho máximo do produto selado é 230*200 mm e a espessura máxima é de 140mm {{{{{{{ e equipamento especial para processar chips microfluídicos de plástico rígido .
Antes de ativar a troca de energia da prensa a quente do vácuo, verifique se o interruptor de controle na interface de trabalho está no estado desligado . conecta o circuito de gás, teste a operação do cilindro, pressione o interruptor do cilindro de controle e pressione novamente o gast do gast .} o cilindro », que não é o que o gás.. {o cilindro {1} {1} {1} {1} {1} pode ser o gar O módulo não funciona, verifique se a conexão entre o medidor de pressão e o módulo de aquecimento ou o sensor térmico está correto ou entre em contato com os técnicos da empresa ou a estação de manutenção imediatamente .
A operação da máquina de ligação a quente a vácuo deve seguir estritamente as seguintes etapas
(1) Verifique se os cabos de alimentação da máquina de união de prensa a quente a vácuo, bomba de vácuo e compressor de ar estão conectados corretamente, verifique se os tubulações de gases de cada peça estão conectados corretamente e feche as válvulas e interruptores de cada parte do sistema .
(2) Coloque o chip a ser ligado no meio da plataforma de trabalho (ou equipamento correspondente), ajustar o golpe do cilindro, feche a escotilha, ligue a bomba de vácuo e remova o ar dentro da pressão quente .
(3) Pressione o interruptor de controle do cilindro para determinar a pressão no chip .
(4) Configuração de temperatura: Ajuste os botões de controle de temperatura superior e inferior da placa na temperatura necessária .
(5) Pressione os interruptores de controle de temperatura superior e inferior da placa para começar a aquecer e unir o chip .
(6) Após a conclusão da ligação de prensa quente, desligue os interruptores de controle de temperatura superior e inferior da placa para parar a placa de aquecimento .
(7) Depois que a temperatura esfria naturalmente com os parâmetros do processo, deixe entrar no ar para equilibrar as pressões internas e externas
(8) Abra a escotilha, modo de resfriamento de ar pneumático e acelere a velocidade de resfriamento
(9) Após a temperatura cair abaixo de 50 graus, pressione o botão do cilindro, o cilindro aumenta e a ligação é concluída
Procedimentos de operação e precauções para forno de prensagem a quente a vácuo
1. Prepare -se para ativar o interruptor do chiller; caso contrário, o equipamento será alarme devido à baixa pressão da água .
2. Antes de ativar o interruptor de energia, você precisa verificar o status de cada interruptor:
1. O modo de aquecimento deve ser definido como engrenagem "manual", e o ajuste de energia deve ser girado no sentido anti -horário para a parte inferior;
2. se a pressão "despondo" a chave de alternância está na posição de parada e se o potenciômetro de pressão é girado ao mínimo; Depois que as verificações acima estiverem corretas, ligue primeiro o interruptor de energia principal e depois ligue a chave de energia secundária .
3. Abra o forno e coloque na amostra
The furnace is usually in a vacuum state when not in use. Before using it, you should first observe the vacuum state of the furnace. If it is in a vacuum, first slowly inflate the furnace body to normal pressure through the air inlet valve, then use a thousand tops to open the furnace cover, take out the two covers, and put the sample to be fired into the furnace corpo .
Se você está sinterizando sem pressão, não deve esquecer que as tampas de isolamento interno e externo devem ser cobertas, caso contrário a temperatura não pode subir; Se você deseja aquecer a sinterização, deve remover a pequena cobertura no meio da cobertura de isolamento mais externa e a cobertura de isolamento interno antes de poder conduzir o experimento .
Nota: Ao colocar a amostra, tenha cuidado para não tocar no elemento de aquecimento para evitar um curto -circuito entre o elemento de aquecimento e a concha do forno .
4. Defina o programa de aquecimento
1. Aquecimento: Geralmente definido pelo programa, a taxa de aquecimento máxima é de 10 graus /min . se você deseja esquentar rapidamente no estágio inicial do experimento, você pode configurar o modo de aquecimento para "manual" e ajustar lentamente a energia no sentido horário para aumentar lentamente a corrente para aquecer; Geralmente, abaixo de 200 graus, você pode aquecer manualmente primeiro, caso contrário, o controle de temperatura será impreciso . 1000-2000 grau, o controle automático infravermático da temperatura do forno pode ser usado .
Nota: O aquecimento deve ser realizado sob vácuo; Preste atenção à indicação atual do medidor de que a corrente classificada secundária não deve exceder 700A .
2. resfriamento:
Ele pode ser definido através do programa ou desligar diretamente o aquecimento e deixá -lo esfriar por si só . Nota: A água não pode ser interrompida durante o processo de resfriamento, caso contrário, o anel de vedação do corpo será queimado .
V . defina o programa de pressurização
1. pré-pressurização: a pré-pressurização deve ser realizada antes do aquecimento, e a faixa de configuração de pressão geralmente é entre 1.0-1.5 mpa; A pré-imprensa pode ser alcançada manualmente .
2. Pressurização: Após a temperatura subir para a temperatura predeterminada, a amostra é pressurizada . geralmente, o programa é definido para pressionar automaticamente a amostra . {o valor máximo de pressão que o equipamento pode alcançar é 16mpa, que é equivalente a 10t (16mpA {{{{{{{{). {16mpA {{{{). {16mpA {{{{{}}} {} {}} {{16mpA {{{{{{
R: Pressurização manual: gire o potenciômetro de pressurização e observe a indicação de deslocamento ao mesmo tempo . se a mudança de deslocamento for muito pequena, significa que os socos superiores e inferiores entraram em contato com a stop . e a posição de prensa é concluída, a posição. e a posição de prensa. e a queda. e a posição de prensa. e a queda. e a queda. e a queda. e a queda. e a queda. e a queda de. é acabada de acordo com a mina..
B: Automatic pressurization: First set the required pressure on the instrument. When the required pressure and the measured pressure are basically the same, turn the "up-down" switch to the up position, observe the displacement and pressure changes, and automatically realize the pressure maintenance and pressure stabilization functions after the rise is in place. After the pressurization is finished, just turn the "up-stop-down" switch to the down Posição . Depois que a parte inferior é atingida, gire o interruptor "Up-Stop-Down" para a posição de parada . finalmente, desligue a bomba hidráulica .
Nota: Quando não está pressionando ou descarregando, a pressão deve ser definida como um valor negativo e a bomba hidráulica deve ser interrompida . Defina o cilindro para a posição de parada quando não estiver em uso, caso contrário, será inusível .
Bomba de vácuo
Seis, etapas de aspulamento do forno elétrico:
Ligue o interruptor do medidor de vácuo
1. baixo vácuo: feche todas as válvulas de vácuo, inicie a bomba mecânica, aguarde que ela seja executada normalmente (cerca de 1-2 min), abra a válvula de vácuo baixa que leva ao corpo do forno, ou seja, a válvula da borboleta superior e pré-evacue o corpo do forno;
2. High vacuum: Open the lower butterfly valve, evacuate the diffusion pump, and when the vacuum℃reaches below 15 Pa, turn on the diffusion pump for preheating. Generally, after about 45 minutes, the diffusion pump starts to work, and you can close the upper butterfly valve. At the same time, open the main blocking valve and wait until the vacuum℃Atinge acima de 1 . 33 × 10-1 PA antes de ativar o botão de aquecimento para aquecer a amostra.
A: O medidor de vácuo possui dois medidores de alcance, faixa de vácuo baixa 1 . 0 × 105-1.0 × 10-1; Alto intervalo de vácuo 1 . 0 × 10-1-1.0 × 10-5, geralmente comece a trocar os intervalos em 2Pa . Observe que, antes de preencher o ar, a chave de gaiola de vácuo deve ser desativada para evitar o salário de vácuo do agio. Nota: A válvula de borboleta superior e a válvula de bloqueio principal não podem ser abertas ao mesmo tempo.
Sétimo, a atmosfera protetora pode ser passada por argônio ou nitrogênio de alta pureza para proteção contra sinterização .
A faixa de pressão da inflação é da pressão normal a 7000pa .
Oitavo, depois do experimento
1. Quando não estiver em uso, o corpo do forno deve ser mantido em um estado de vácuo (abra a válvula de borboleta mecânica da bomba para aspirar o corpo do forno por cerca de 1 hora, e o manômetro atrás do corpo da fornalha mostra menos que -0.1), caso contrário, a eficiência do vácuo será reduzida ao próximo tempo;
2. Desligue o interruptor do chiller;
3. Remova o vidro de observação do forno a vácuo (especialmente a janela de observação do instrumento infravermelho) para limpeza;
4. Limpe a superfície do forno elétrico para mantê -lo limpo;
5. faça registros relevantes no livro de experimentos .
6. Antes de sair, verifique se as janelas de água, eletricidade, luz e ar condicionado estão fechadas . Depois de confirmar que estão corretas, bloqueie a porta antes de sair .
